準分子/超快雷射加工系統

Micro Master

• 彈性設計準分子雷射加工系統，可搭配高/低功率準分子雷射
• 研發與產業應用規劃
• 提供高均相光束的雷射加工，獲得最優化產值
• 高精度能量控制設計
• 可達 <1.5μm 解析度
• 提供μm等級加工精度
• 不同加工模式設計，可針對特定應用
• 200mm x 200mm以上的雷射加工區域

Pro Master

• 低功率準分子雷射加工系統，研發工具利器
• 可達 <1.5μm 解析度
• 內建32基本圖案可選換光圈
• 搭配TTL影像系統
• 內建氣瓶櫃，軟體自動更換氣體
• 100mm x 100mm的雷射加工區域

Custom Excimer / Femto Laser Workstation

• 客製化準分子雷射/超快飛秒雷射加工平台，為各特定不同製程量身訂作專用設備
• 搭配自動化周邊與自動化控制
• 專用軟體程式設計