X-BOT-50 六軸精密位移平台
X-BOT-50 是一款微型六軸平台（hexapod），高度僅 60mm，能以次微米精度進行精密元件的定位和調整，提供五自由度的運動範圍。其平台下方可整合 360° 的 Z 軸旋轉功能，以實現完整的六自由度運動。此產品提供高真空（HV）、超高真空（UHV）及非磁性版本，並可根據需求定製行程範圍。
產品特點
- 運動範圍：±14mm (X/Y)、±2.5mm (Z)、±9° (X 軸傾斜)、±10° (Y 軸傾斜) 相對中心位置
- 最大負載：200g
- 最大開孔尺寸：19 x 19 mm（不包含 PR-20 旋轉台）
- 最小開孔尺寸：9.5 x 9.5 mm
- 採用交叉滾柱軸承，確保平穩運行
- 平台高度：中心位置 60mm，最低位置 57mm
- 提供真空適用版本
設備參數
