超快雷射微加工整形原理

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飛秒雷射脈寬窄、頻譜寬，對色散會有特別嚴格的要求。短脈衝對色散非常敏感，當脈衝長度的平方小於群延遲色散時，會產生顯著的脈衝展寬。只有低色散的鏡片和膜層才能保證飛秒雷射在傳播過程中保持原有的特性。同時，飛秒雷射在傳播過程中不可避免地會發生展寬或啁啾，需要利用特別的負色散鏡進行調節補償，因此低群速度色散GDD反射鏡和負色散鏡對飛秒雷射的應用特別關鍵。低群色散GDD鏡片和高品質負色散鏡，需要獨特的膜層技術能夠精確控制鏡片和膜層的色散特性。由於不同頻率復色光的光在同一介質中的折射率不一樣，因此不同頻率的光相速度也不一樣，導致它們會以不同的折射角被分解而在出射區域形成光譜，這就叫色散。群速度的概念和波包相關，波包相當與多種頻率得光波組成的集合。波包最大振幅處的傳播速度就是群速度。當波包在介質中傳播史，由於波包中不同頻率得光波會有不同的傳播速度，於是波包的形狀會發生變化，這就是群速度色散（GVD，Group Velocity Dispersion），也稱之為群速彌散。當脈衝長度的平方小於群延遲色散時，會產生顯著的脈衝展寬。下圖是當脈衝通過介質時產生的脈衝展寬現象。GVD本質上指的是群速度在光通過透明介質時，它發生的變化和頻率或波長有關的現象。這個術語也可以用作一個精確定義的量，即逆群速度對角頻率（有時是波長）的導數，GVD的值可以由以下公式表達：GVD=∂∂ω1vg=∂∂ω∂k∂ω=∂2k∂ω2其中k是頻率相關的波數，在考慮到與波導相關的應用時，我們可以用β進行代替。由於群速度色散是單位長度的群延遲色散，當我們要計算一個波導的群延遲色散時，可以用群速度色散與波導長度進行相乘，其基本單位是s2/m。例如，二氧化矽在800 nm處的群速度色散為35 fs2/mm，在1500 nm處的群速度色散為- 26 fs2/mm。在這些波長之間的某個地方（約1.3微米），存在著零色散波長。在光纖通信中，群速度色散的定義不是群速度對角頻率的導數，而是定義為對波長的導數。由以下GVD參數可以計算出：Dλ=∂∂λ1vg=-2πcλ2∙GVD=-2πcλ2∂2k∂ω2上述的這個量通常以ps/（nm km）為單位（每納米波長變化的皮秒數和公里傳播距離）。例如，20ps /（nm km）在1550nm（電信光纖的一個典型值）相當於- 25509 fs2/m。重要的是要認識到由於長波長對應較小的光學頻率而產生的GVD和Dλ的不同意義。正態色散意味著隨著光頻率的增加群速度降低; 這在大多數情況下都會發生，而負色散與之相反。根據不同的情況，群速度色散可以有不同的重要影響：它與超短脈衝的色散時間展寬或壓縮有關。在光纖中，非線性效應強烈地依賴於群速度色散。例如，可能會有光譜展寬或壓縮，這取決於色散特性。在參數非線性相互作用中，色散也是不同波群速度不匹配的原因。例如，它可以限制倍頻器、光參量振蕩器和放大器的交互頻寬。綜合上述原因，我們知道超快雷射由於時間脈寬窄，頻域譜寬較大，因此對色散會有特別嚴格的要求。短脈衝對色散非常敏感。當脈衝長度的平方小於群延遲色散時，會產生顯著的脈衝展寬。群速度只有在群速彌散效應非常小的情況下才有意義，如果群速彌散效應非常大，波包可能很快就會解體，這時的群速度也就沒有意義了。只有低色散的鏡片和膜層才能保證飛秒雷射在傳播過程中保持原有的特性。只有低色散的鏡片和膜層才能保證飛秒雷射在傳播過程中保持原有的特性。要使群速度色散非常小，就必須使得波包的頻寬非常小。群延遲色散（GDD）和三階色散（TOD）如果脈衝被介質反射鏡反射，改反射鏡表面鍍由高、低折射率交替相疊的薄膜層，會有一個相移在原始和反射的脈衝之間產生。一般來說，相移Φ（ω）在中心頻率附近ω0可能擴大ω0附近的泰勒級數頻率表達式為：其中Φ' （ω0）為群延遲（GD，Group Delay），Φ'' （ω0）為群延遲色散（GDD，Group Delay Dispersion），Φ''' （ω0）為三階色散（TOD，Third Order Dispersion），更嚴格地說，這種展開式只適用於完全可以解的模型，變換限制高斯脈衝的傳播和純相位色散。對於非常短的脈衝和振幅和相位色散的組合，數值計算可能是必要的。然而，這一擴展清楚地顯示了單個術語的物理意義：假設相移是線性的頻率（即GD≠0， GDD = 0和TOD = 0脈衝頻寬），反射的脈衝是由不斷的群延遲的影響而發生相位延遲，當然，縮放的振幅反射率和脈衝頻譜仍將不失真。當GDD≠0時，觀察到兩個重要效應：反射脈衝被暫時加寬。這種展寬效應只取決於GDD的絕對值。我司提供「低GDD雷射鏡片」，即鏡片在給定波長範圍內|GDD|<20 fs2；當脈衝被這些反射鏡反射時，需要這個鏡片的作用來保持脈衝形狀。此外，脈衝變成“啁啾”，即它在脈衝時間改變其瞬時頻率。這種效應取決於GDD的信號，所以暫態頻率可能會變高（上調-啁啾，GDD>0）或更低（向下-啁啾，GDD<0）。這允許通過使用負GDD反射鏡來補償非線性光學元件的正GDD效應。如下圖所示，可以通過正負GDD來平衡色散的震蕩。同時，飛秒雷射在傳播過程中不可避免地會發生展寬或啁啾，需要利用特別的負色散鏡進行調節補償，因此低群延遲色散GDD反射鏡和負色散鏡對飛秒鐳射的應用特別關鍵。 TOD還決定了脈衝長度和脈衝形狀（有可能引起脈衝失真），在脈衝長度為20fs及以下時，TOD是一個非常重要的因素。在低群色散GDD鏡片和高品質負色散鏡領域，需要獨特的膜層技術能夠精確控制鏡片和膜層的色散特性。 https://www.steo.com.tw/hot_512703.html 群速度色散(GVD)和群延遲色散(GDD) 2025-04-02 2026-04-02

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首頁最新消息技術新知超快雷射微加工整形原理 [2024-08-19]

超快雷射微加工整形原理

非熱吸收機制

極高的瞬時峰值功率（達數兆瓦範圍）可同時吸收多個光子。
當脈衝持續時間短於材料的特徵振動鬆弛時間時，這種吸收機制發揮作用。

利用超快雷射，兩個主要機制主要負責將吸收從熱態轉移到非熱態：

非熱吸收機制非常重要，因為它可以減少材料的熱損傷，使得加工更精細、控制更佳、微加工更加精確。

超快雷射微加工整形原理

在超短脈衝雷射加工中，通過使用具有以下特性的雷射，可以在高效材料去除率的同時，實現對周圍非加工區域的最小熱損傷：

通過使用具有更高峰值功率的短脈衝來增加光通量（W/cm²）
使用更具可聚焦性的光束（較低的M²值）來增加光通量
使用較短波長來改善光束質量和吸收
增加脈衝能量或脈衝重複頻率；這將提高處理效率，因為兩者都會增加雷射的平均功率
改善光束指向穩定性以實現一致的加工效果

實驗範例回顧

聚合物微銑削／金屬微銑削／陶瓷微銑削

這使得每次脈衝去除的材料體積能夠被精確控制，從而實現高解析度加工和高質量的表面處理。紫外雷射在大面積結構化和三維微加工方面表現卓越。先進的光束照明和投影技術可以實現目標區域邊緣銳利且能量密度均勻的分佈，從而精確控制每次脈衝去除的材料體積，實現高解析度加工和高質量表面處理。

實驗製作流程

典型的去除速率在 0.05 - 1.5 μm/脈衝之間。
當需要重複單一圖案時，可以在光罩中設置一組陣列特徵，利用光束的大橫截面同時加工多個特徵。
通過協調光罩和工件的運動，可以創建大型且複雜的圖案。

結論

必須仔細調整光學參數和加工速度，以優化特定的微加工任務。

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